0.2mm錫球激光噴射焊接晶圓案例

晶圓，這個在科技領(lǐng)域中占據(jù)重要地位的微小物質(zhì)，其應(yīng)用早已滲透到我們生活的方方面面。隨著科技的不斷發(fā)展，晶圓的應(yīng)用范圍也在持續(xù)擴大，展現(xiàn)出更加廣闊的前景。以下是一個晶圓激光植球焊接的方案，該方案主要包括激光植球的設(shè)備選擇、工藝流程以及關(guān)鍵控制點等方面：

一、設(shè)備選擇

選用光纖激光器作為植球熱源，其具有電光轉(zhuǎn)換效率高、能量穩(wěn)定的特點。同時，配備 CCD 相機定位系統(tǒng)，以保證植球精度。

二、工藝流程

1. 準備晶圓：確保晶圓表面清潔、無雜質(zhì)，焊盤位置準確。

2. 錫球準備：選擇合適規(guī)格（如 0.07mm~0.2mm）的 Sn-Ag-Cu、Sn-Bi-Ag 等常用材質(zhì)錫球。

3. 激光定位：通過 CCD 相機定位系統(tǒng)，精確確定晶圓上需要植球的焊盤位置。

4. 激光加熱植球：

? 激光器發(fā)射紅外光，瞬間加熱錫球至熔融狀態(tài)。

? 利用氮氣將熔化后的錫球吹落至焊盤上。

5. 冷卻凝固：錫球在焊盤上冷卻后，與焊盤形成良好的焊接。

三、關(guān)鍵控制點

1. 激光能量控制：確保激光能量穩(wěn)定，以精確控制錫球的熔融程度，避免過度或不足加熱。

2. 植球位置精度：依靠高精度的 CCD 相機定位系統(tǒng)，準確將錫球放置在焊盤上。

3. 錫球質(zhì)量：選擇質(zhì)量穩(wěn)定、尺寸均勻的錫球，以保證植球的一致性。

4. 氮氣保護：氮氣的流量和壓力要適當，既保證錫球的順利吹落，又防止氧化。

5. 工藝參數(shù)優(yōu)化：針對不同的晶圓和錫球規(guī)格，通過試驗確定**的激光功率、加熱時間、氮氣壓力等工藝參數(shù)。

在實際操作中，還需要注意以下幾點：

1. 保持工作環(huán)境的清潔，避免灰塵等雜質(zhì)對植球質(zhì)量產(chǎn)生影響。

2. 定期對設(shè)備進行維護和校準，確保其性能穩(wěn)定。

3. 對植球后的晶圓進行質(zhì)量檢測，如檢查焊點的外觀、焊接強度等，及時發(fā)現(xiàn)并解決可能存在的問題。

激光植球方式具有錫球內(nèi)不含助焊劑、激光加熱熔融后不會造成飛濺、凝固后飽滿圓滑、對焊盤不存在后續(xù)清洗或表面處理等附加工序、錫量恒定、分球焊接速度快且精度高、熱影響小、符合綠色智造理念等優(yōu)勢。但具體的方案可能需要根據(jù)實際的生產(chǎn)需求、設(shè)備性能以及晶圓和錫球的特性進行調(diào)整和優(yōu)化。